全世界最灵敏高阻/低电流测量仪器 6517A型高阻计/静电计
最高的电流测量灵敏度1×10-17A； 最高的电阻(率)直接测量能力5×10-17Ω； 准确度、灵敏度、功能、价格优于任何其他公司的高 阻计/静电计。 测量范围： 电流(10-17~10-2A)； 电压(10-6~102/104V)； 温度(-190~1350℃)； 电阻(10-1~1017Ω)； 电荷(10-15~10-6C)； 湿度(0.3%~100%)
主要性能： 输入阻抗大于2×1014Ω； 输入端压降小于20µV； 仪器内部温度湿度补偿； 已备1kV精密程控电压源，最小步长5mV； 测量数据可作为t,T,H的函数； 六位半弱电流和高阻电压测量分辩率； 小信号带宽100kHz； 直接测体/表面电阻率1018Ωcm,1017Ω/口；	噪声小于7.5×10-16A； 具有十通道测量扩展能力； 快速弱电流测量125点/秒； 多参数同时测量和显示； 带IEEE-488.2接口和RS-232接口； 前放输出(阻抗转换)和模拟输出； 最长可驱动300米电缆； 数据存储(15K,Max),触发联接技术
选  件： 8009-体/表面电阻率测试箱； 8002A-元器件测试箱； 6521/6522-十通道低漏电流扫描卡； 6517-RH-湿度探头； KPC-488.2AT-IEEE-488.2接口卡； TESTPOINT-测控软件包；	SC-9(22)-二(三)同轴低噪声电缆； 6103C-40KVDC输入分压探头； 237-TRX-NG-三槽三同轴至BNC转接器； 5156-校准源； 6524-高阻、体/表面电阻率测试软件包，最新变电压    极性法增强高阻测试能力
软件支持： 与617静电计兼容，SCPI命令； 6524高阻、体/表面电阻率测试软件； 有LABVIEW和TESTPOINT软件所驱动程序； 多种编程举例； 内置九个标准测试程序： 二级管漏电流测试； 电容漏电测试；	表面绝缘电阻测试； 电缆绝缘电阻测试； 方波扫描测试； 电阻电压系数测试； 体电阻率测试； 表面电阻率测试； 阶梯波扫描测试
62/65系统： 62系统适用于高阻元器件测试，包括6517A高阻计，8002A元器件测试盒，6524软件及电缆附件； 65系统适用于高阻材料测试，包括6517A高阻计8009电阻率测试盒，6524软件及电缆附件

技 术 指 标
电   流
量 程	五位半分辩率	精度18℃~28℃±(读数的%+字)(1年)	温度系数0℃~18℃&28℃~50℃±(读数的%+字)/℃
20pA	100aA	1+30	0.1+5
200pA	1fA	1+5	0.1+1
2nA	10fA	0.2+30	0.1+2
20nA	100fA	0.2+5	0.03+1
200nA	1pA	0.2+5	0.03+1
2µA	10pA	0.1+10	0.005+2
20µA	100pA	0.1+5	0.005+1
200µA	1nA	0.1+5	0.005+1
2mA	10nA	0.1+10	0.008+2
20mA	100nA	0.1+5	0.008+1
电   阻
量 程	五位半分辩率	精度18℃~28℃±(读数的%+字)(1年)	温度系数	测量电压	电流量程
2MΩ	10Ω	0.125+1	0.01+3	40V	200µA
20MΩ	100Ω	0.125+1	0.01+1	40V	20µA
200MΩ	1kΩ	0.15+1	0.015+1	40V	2µA
2GΩ	10kΩ	0.225+1	0.035+1	40V	200nA
20GΩ	100kΩ	0.225+1	0.035+1	40V	20nA
200GΩ	1MΩ	0.35+1	0.110+1	40V	2nA
2TΩ	10MΩ	1.35+1	0.110+1	400V	2nA
20TΩ	100MΩ	1.025+1	0.105+1	400V	200pA
200TΩ	1GΩ	1.15+1	1.125+1	400V	20pA
电   荷
量 程	五位半分辩率	精度18℃~28℃±(读数的%+字)(1年)	温度系数0℃~18℃&28℃~50℃±(读数的%+字)/℃
2nC	10fC	0.4+5	0.04+3
20nC	100fC	0.4+5	0.04+1
200nC	1pC	0.4+5	0.04+1
2µC	10pC	0.4+5	0.04+1
电   压
量 程	五位半分辩率	精度18℃~28℃±(读数的%+字)(1年)	温度系数0℃~18℃&28℃~50℃±(读数的%+字)/℃
2V	10µV	0.025+4	0.003+2
20V	100µV	0.025+3	0.002+1
200V	1mV	0.06+3	0.002+1
温度(热电偶)
热电偶类型	量 程		精度18℃~28℃±(读数的%+字)(1年)
K	-190℃~1350℃		±(0.27%±1℃)
相对湿度
量 程		精度18℃~28℃±(读数的%+相对湿度%)(1年)
0~100%		±(0.3%±0.5)
电 压 源
量 程	五位半分辩率	精度18℃~28℃±(设置的%+偏置)(1年)		温度系数0℃~18℃&28℃~50℃ ±(设置的%+偏置)/℃
100V	5mV	0.15+10mV		0.005+1mV
1000V	50mV	0.15+100mV		0.005+10mV